热处理对Bi2Te2.7Se0.3热电薄膜形貌及性能的影响

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摘要  ：为研究热处理对三元Bi2Te2.7Se0.3热电薄膜形貌和性能的影响，采用恒电位沉积的方法制备了两个热电薄膜，通过X射线衍射、场发射扫描电镜（FE-SEM）对其物相、形貌进行表征;通过台阶仪和霍尔效应测试系统对薄膜的膜厚和性能进行测试。研究结果表明，采用电化学沉积法制备的三元膜为纯相Bi2Te2.7Se0.3，在（110）晶面有择优取向;扫描电镜观察结果表明，热处理显著改变了薄膜的微观形貌，使得三元薄膜从“白菜叶”形貌变为由纳米片相互交叉组成的微球;霍尔效应测试结果表明，热处理后薄膜的电导率得到了提高，载流子浓度则轻微降低。（剩余8919字）