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摘要:为解决多自由度超声电机普遍存在的定位精度低、结构尺寸大和预压力难以施加等问题,设计了一种新型贴片式圆盘定子多自由度超声电机。首先使用有限元方法验证了圆盘定子的工作原理并确定其几何尺寸;然后制作了圆盘定子并测试其阻抗特性和振动特性;最后组装了原理样机并对其机械输出特性进行了实验评估。实验结果表明,原理样机的启/停响应时间均在20 ms以内,角位移分辨率均小于30 μrad,具有响应迅速和定位精度高的优点。(剩余15124字)
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贴片式圆盘定子多自由度超声电机的设计与实验
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