不同电极间距AlN基3D-MSM紫外探测器设计与仿真

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摘 要：金属-半导体-金属（metal-semiconductor-metal，MSM）紫外探测器在紫外杀毒、光纤通信、导弹追踪和航空航天等方面具有广泛的应用。根据传统MSM紫外探测器设计了一种基于氮化铝（aluminum nitride，AlN）的3D结构器件（3D-MSM），然后设计了不同电极间距（1、5、10和15 μm）MSM器件和3D-MSM器件，并采用APSYS仿真软件分析了AlN基传统MSM器件和3D-MSM器件光电流、暗电流、响应度、时间光电响应及外量子效率等性能参数对器件性能的影响规律。（剩余8677字）