微波等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜的研究及应用进展

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2022年8月12日，美国商务部工业和安全局（BIS）在《联邦公报》上发布了一项临时最终规定，规定中对4项“新兴和基础技术”实施最新出口管制，其中包括了金刚石这类超宽禁带半导体材料。这再次使得金刚石受到广泛关注，吸引研究人员解决金刚石制备这项“卡脖子”技术难题。

金刚石是由碳原子构成的面心立方结构材料，原子之间由强共价键结合，排列非常致密，原子密度为1.77×1023cm-3 。（剩余38052字）

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