飞秒激光与金刚石相互作用机理仿真和实验研究

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摘要：为了探究飞秒激光与金刚石的相互作用机理，本研究针对化学气相沉积法制备的单晶金刚石，基于COMSOL Multiphysic仿真软件，采用能量守恒公式和傅里叶热传导定理公式，建立基于温度场的飞秒激光加工单晶金刚石仿真模型，研究激光平均功率、激光扫描速度、激光重复频率和激光脉冲有效个数四个影响因素对金刚石流道宽度和深度形貌的影响规律。（剩余9503字）

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