用于振动测量的传感器设计

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摘要：针对振动测量的特殊用途，设计了一种结构紧凑的振动测量传感器，由弹性体、惯量质量块、光纤光栅等组成，同时传感器的灵敏度可调；搭建了振动测量传感器性能测试平台，对传感器的固有频率、抗干扰性能、灵敏度进行测试，同时将其应用于真空泵振动测试中。结果表明，所设计的振动测量传感器和市场上购买的压电传感器具有相同的测试结果，具有良好的抗干扰性能和较高的灵敏度。（剩余5674字）

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