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摘 要：针对射频等离子体单晶体生长炉的射频等离子体反应器壁面温度高并且接通射频电源的导电线圈长期暴露于工作空间会存在的安全问题，设计研究出了新型螺旋缠绕管换热器。首先理论计算螺旋缠绕管换热器的主要结构参数，然后利用有限元分析方法对螺旋缠绕管式换热器进行物理模型建立和数值模拟，最后根据螺旋缠绕管换热器表面温度数值分析结果，优化其结构参数。（剩余7959字）
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等离子体加热单晶体生长炉外部换热器设计研究
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