光刻机龙头的沉浮变迁(上)
光刻技术的诞生比芯片还要早,1955年,贝尔实验室便实现了在硅片上用光刻加工电子元器件的方法。
芯片诞生之初,晶体管的尺寸还比较大,光刻没有多少技术含量。当时的半导体公司通常自己设计生产芯片的工艺装备,比如早期的仙童甚至拿电影镜头来进行光刻。英特尔也有自己的光刻机部门,买一些零部件便能自己组装。
走向专业化,群雄逐鹿
1961年,美国GCA造出了第一台重复曝光光刻机,能够定位到1微米的精度,远超当时25微米的精度。(剩余3114字)
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