MoS2单晶薄膜的制备及生长机制研究

  • 打印
  • 收藏
收藏成功
微博 QQ空间 微信


打开文本图片集

摘要：

通过研究二维MoS2薄膜的制备工艺参数以及生长规律，为过渡金属硫化物薄膜的制备工艺提供技术经验。采用化学气相沉积法，以MoO3和S粉为前驱体，通过调控载气流速、保温时间和MoO3的质量，制备一系列MoS2薄膜。利用光学显微镜、拉曼光谱仪、光致发光光谱仪、原子力显微镜等测试设备对MoS2薄膜的层数和结构进行表征；分析了工艺参数对MoS2薄膜的影响，探索了中心成核的生长机制。（剩余11466字）

试读结束

目录
monitor