基于SPH-FEM 转换算法的砷化镓划片损伤过程研究

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摘要：为了进一步提高半导体激光器巴条制造质量，改善解理加工过程中划片损伤情况，采用SPH-FEM 转换算法研究划片速度和载荷对单晶砷化镓（gallium arsenide，GaAs）划片损伤的影响。基于广义胡克定律计算出砷化镓{100}晶面<110>晶向的各向异性机械力学特征参数，采用SPHFEM转换算法仿真金刚石刀头划片实验，将划片过程中损伤的有限元转换为粒子，研究损伤粒子在刀头作用下的运动轨迹，确定出划片的损伤过程。（剩余7614字）

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