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文章编号：1003⁃6180（2023） 03⁃0073⁃05
摘 要：采用原子层沉积法制备ZnO薄膜晶体管，研究高温退火对其性能的影响，并将其引入半导体物理课程教学，让学生更加直观了解半导体的样品制备和测试分析，更加有效地培养学生的探索创新精神.
关键词：电子器件；半导体物理；后处理
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原子层沉积法制备ZnO薄膜晶体管教学研究
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