用于甚低频水声信号检测的电化学敏感单元设计

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摘  要：针对深海环境下对72 Hz以下甚低频水声信号的感知和探测需求，该文研制一种基于电化学换能原理和MEMS技术的电化学敏感单元。该电化学敏感单元包括MEMS敏感电极、有机玻璃制作的电化学反应腔、胶膜和电解质溶液等。采用MEMS技术和Pt-Pt倒装键合技术在单晶硅衬底上完成MEMS敏感电极的加工和制作，采用螺纹紧固的方法完成电化学敏感单元的装配。（剩余6744字）

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