钽材在真空蒸镀设备中的应用

  • 打印
  • 收藏
收藏成功
微博 QQ空间 微信


打开文本图片集

摘  要：真空蒸镀设备作为有机发光二极管（OLED） 面板制程的“心脏”，目前完全依赖进口。该文简述真空蒸镀工艺原理及蒸镀设备中钽蒸发源的国内现状，分析制约我国真空蒸镀设备中钽蒸发源发展的关键因素，如钽材纯度、钽蒸发源加工及钽材焊接等，指出，目前高纯度钽材的生产、复杂形状的钽蒸发源成形及有效的焊接方法成为国内制造真空蒸镀设备用钽蒸发源急需突破的技术壁垒。（剩余4442字）

试读结束

目录
monitor