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阿斯麦的启示:国产EUV何时到来?


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2021年11月7日,第四届进博会,阿斯麦以裸眼3D视频形式展示EUV光刻机的内部运作原理

所谓中国清华大学成功突破EUV光刻机技术难关,且工厂已于雄安新区运行的虚假新闻,近日得到了求证并非为事实,却依然引起了广泛讨论。中国电子院其后澄清,虚假新闻照片不是光刻机,而是北京高能同步辐射光源(HEPS)项目,是国家“十三五”的重大科技基础设施。(剩余4007字)

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