阿斯麦的启示：国产EUV何时到来？

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2021年11月7日，第四届进博会，阿斯麦以裸眼3D视频形式展示EUV光刻机的内部运作原理

所谓中国清华大学成功突破EUV光刻机技术难关，且工厂已于雄安新区运行的虚假新闻，近日得到了求证并非为事实，却依然引起了广泛讨论。中国电子院其后澄清，虚假新闻照片不是光刻机，而是北京高能同步辐射光源（HEPS）项目，是国家“十三五”的重大科技基础设施。（剩余4007字）

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