用于干涉计算成像的硅交叉混频器设计

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摘要：基于绝缘体上硅平台，设计并制作了一种用于光学干涉计算成像的硅交叉混频器，利用时域有限差分法对多模干涉耦合器和整个器件的结构参数优化仿真。仿真结果表明，输出端口具有良好的透过率。通过光刻工艺制备芯片并进行封装后，采用外加电压的方式对混频器的性能进行表征。测试结果表明：在1 551.8 nm的工作波长下，施加电压后，输出光功率与电压呈正弦函数关系，验证了混频器中的干涉相长和干涉相消现象；使得两路输出端口发生π相位变化的电压为2 V，电压调控π相位偏转精度分别为0.991π和1.007π，计算可得相位偏差为0.79°。（剩余12448字）