电容式MEMS压力传感器的优化设计

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关键词：MEMS；压力传感器；电容式；优化设计

1 MEMS传感器的发展现状

MEMS 传感器是利用微机械加工技术与电路集成技术发展起来的一种微型传感器，能把外界物理信号、化学信号、生物信号和其他非电量信号，根据预设的规则，将其转换成便于传输与分析处理的电信号，在MEMS器件中属于使用最普遍的器件之一。（剩余2217字）

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