管式PECVD设备源柜的空间布局设计与优化

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中图分类号：TM615 文献标志码：A

0引言

随着传统能源日益短缺，太阳能、风能、生物质能等可再生能源受到越来越多的关注[1]。光伏发电技术作为重要的太阳能利用方式得到了广泛应用[2。光伏组件是光伏发电系统的核心部件，主要是由太阳电池串并联而成。而硅片正面镀膜是太阳电池制备过程中的核心工序之一[3-4]，直接关系到太阳电池的光电转换效率，而该工序主要是采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备[5]。（剩余7838字）

试读结束

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