TOPCon太阳电池LPCVD技术路线下的EL黑边、黑角改善研究

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摘 要：EL黑边、黑角是TOPCon太阳电池采用LPCVD技术路线时遇到的重点和难点问题，其不仅会导致光电转换效率和良品率下降，还会使太阳电池内出现EL图像明暗不均的问题。为了改善EL黑边、黑角问题，对TOPCon太阳电池采用LPCVD技术路线时的EL黑边、黑角问题进行了分析和改善研究。研究结果表明：TOPCon太阳电池生产线上出现的EL黑边、黑角问题主要是由LPCVD设备内首舟的气场与碱抛自然氧化层不均匀叠加导致。（剩余8739字）

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