n型“SE+TOPCon”太阳电池硼扩散氧化推结过程中的湿氧化工艺研究

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摘 要：为了探究湿氧化工艺在叠加选择性发射极（SE）技术的n型隧穿氧化层钝化接触（TOPCon）太阳电池（下文简称为“n型‘SE+TOPCon’太阳电池”）制备工艺中的作用，在制备此类太阳电池的硼扩散工艺氧化推结过程中增加了湿氧化工艺，通过实验对比干氧化工艺和湿氧化工艺，研究了湿氧化工艺对硼硅玻璃（BSG）层厚度，重掺杂区和轻掺杂区的方阻、硼掺杂浓度和结深，以及轻掺杂区钝化效果和重掺杂区接触效果的影响。（剩余8584字）

试读结束

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