“SE+PERC”单晶硅太阳电池发射极方阻均匀性提升工艺的研究

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摘 要：针对“SE+PERC”单晶硅太阳电池制备过程中，管式扩散炉扩散后硅片发射极方阻均匀性差的问题，在扩散工艺的“预沉积”步骤设计小氮气（N2）流量、氧气（O2）流量、炉内压强参数变化实验，研究小N2流量、O2流量和炉内压强变化对发射极方阻、方阻均匀性及太阳电池电性能的影响。研究结果表明：通过调整小N2流量、O2流量及扩散过程中的炉内压强可以有效提高发射极方阻均匀性，并提高太阳电池的光电转换效率。（剩余10014字）

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