大管径PECVD设备加热时的总功率调控方法

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DOI： 10.19911/j.1003-0417.tyn20220621.01 文章编号：1003-0417（2023）09-93-06

摘 要：针对大管径等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备炉管数量增多，以及炉管加热时设备功率增大，从而导致设备总功率超过车间最大允许功率限制的情况，以大管径6管PECVD设备为例，通过利用控制系统实时监测各炉管的工艺过程状态、加热功率输出需求等数据，根据每个炉管温度对该炉管工艺的影响程度，智能调控各炉管各温区的加热功率输出上限，确保了设备总功率保持在最大允许功率之内。（剩余6986字）