具有双重显影特性的多用途单分子树脂化学放大光刻胶

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摘要 化学放大光刻胶(CARs)由于其在分辨率和灵敏度方面的出色性能而广泛应用于光刻领域。 本文报道了一种基于单分子树脂的多用途化学放大光刻胶SP8-PAGAN,可同时用于365 nm光刻和电子束光刻。 该体系主要由螺二芴结构的单分子树脂主体材料(SP-8Boc)和N-(三氟甲基磺酸酯基)蒽-1,9-二羧酰亚胺非离子型光致产酸剂(PAGAn)组成。(剩余1438字)

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