具有双重显影特性的多用途单分子树脂化学放大光刻胶

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摘要 化学放大光刻胶（CARs）由于其在分辨率和灵敏度方面的出色性能而广泛应用于光刻领域。 本文报道了一种基于单分子树脂的多用途化学放大光刻胶SP8-PAGAN，可同时用于365 nm光刻和电子束光刻。 该体系主要由螺二芴结构的单分子树脂主体材料（SP-8Boc）和N-（三氟甲基磺酸酯基）蒽-1，9-二羧酰亚胺非离子型光致产酸剂（PAGAn）组成。（剩余1438字）

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