非晶氧化铝薄膜结构及其不同色散模型光谱椭偏对比研究

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摘要：针对非晶态氧化铝纳米薄膜材料性能预测难度较大的问题，本文提出一种基于光谱椭偏技术的不同色散模型对比分析方法，用于测算纳米薄膜的结构和光电特性。通过建立Tauc-Lorentz和Forouhi-Bloomer色散模型，系统地研究了原子层沉积技术制备的氧化铝薄膜的物相结构、微观形貌和光电特性。结果表明，该薄膜具有无定型结构，表面光滑无裂纹。（剩余10282字）

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