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关键词：光波导；光子引线键合；高数值孔径;激光直写；光子芯片中图分类号：0439 文献标志码：A doi：10.37188/CO.2024-0220 CSTR：32171.14.CO.2024-0220
Abstract： To address the issue of shape defects （剩余16788字）
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垂直端面光波导形状缺陷的激光补偿
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