飞秒激光切割金刚石-碳化硅复合材料的损伤机制

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金刚石-碳化硅复合材料作为一种新型超硬多功能材料，集金刚石的极端硬度、高热导率，以及碳化硅的耐磨性、高温稳定性和化学惰性于一体，在航空航天热防护系统、核反应堆结构件、高功率电子器件散热基板及精密光学元件等领域展现出不可替代的应用潜力[1]。例如，在核聚变装置中，金刚石-碳化硅复合材料因具有耐高温等离子体侵蚀和低中子活化特性而被用作第一壁保护材料[2]；在半导体工业中，其高导热性能可有效解决芯片封装中的热管理难题，然而，材料的超硬特性与异质复合结构（金刚石颗粒嵌入碳化硅基体）使其加工难度显著提升。（剩余14937字）