基于自适应有限时间控制策略的高分辨率显微镜运动控制

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摘要：针对大数值孔径显微成像技术对物镜位移台提出的长行程、高精度和大负载的要求，提出了一种非线性鲁棒运动控制策略以实现物镜位移台的精密运动。设计了大数值孔径显微镜的光路系统、虚拟样机以及由滚珠丝杠驱动的物镜位移台，采用双螺母预紧的方式消除滚珠丝杠传动间隙。将自适应技术引入非奇异终端滑模控制，实现系统状态的有限时间收敛，提高系统鲁棒性。（剩余12649字）

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