不同送风条件下静态电子洁净室排污性能研究

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摘 要：为对比分析定风速、正弦式和脉冲式3种不同送风条件下静态电子洁净室的排污性能，选择在恒定风量的条件下，使用CFD的瞬态计算方法来模拟3种送风方式下洁净室内的颗粒物分布，探讨不同送风方式对于电子洁净室排污性能的影响。结果表明，周期性送风下洁净室内的气流流动更为均匀，颗粒物与气流组织混合效果更好，脉冲式送风室内颗粒物分布最理想。（剩余11403字）

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