紫外纳秒激光加工CVD单晶金刚石基础研究
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关键词紫外纳秒激光；单晶金刚石；激光刻蚀；平顶激光
中图分类号TG58;TN249文献标志码A
文章编号 1006-852X（2025）02-0205-09
DOI码 10.13394/j.cnki.jgszz.2024.0097
收稿日期 2024-06-11 修回日期2024-09-28
化学气相沉积（chemicalvapordeposition，CVD）单晶金刚石具备极宽的禁带宽度、较高的载流子迁移率、较好的波透过性、极高的热导率，以及高硬度、高弹性模量等优异特性。（剩余16727字）