碳化硅陶瓷的磨削损伤特性

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关键词碳化硅陶瓷；磨削加工；磨粒未变形最大磨屑厚度；表面/亚表面损伤中图分类号 TB32;TG58 文献标志码 A文章编号 1006-852X（2025）02-0176-13DOI码 10.13394/j.cnki.jgszz.2024.0030收稿日期 2024-02-19修回日期 2024-05-16

碳化硅陶瓷因具有良好的热稳定性、耐磨性、耐腐蚀性、高硬度以及较低的热膨胀系数被广泛应用于航空航天、电子设备、汽车工业、生物医疗等领域[1-2]磨削加工是实现碳化硅陶瓷高效、高性能制造的典型加工方法[3，但由于材料本身的高脆性及其内部存在的大量气孔、位错、晶界等结构，并且碳化硅陶瓷的磨削损伤受多种因素影响，其在磨削加工中容易产生破碎、裂纹等缺陷，这不仅严重影响材料加工质量，同时也使得研究难度增加[4。（剩余18336字）