铌酸锂晶体超精密加工技术研究进展

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摘要 铌酸锂（LiNbO 3 ）晶体光电特性优异，是制造光学调制器、频率倍增器、滤波器等光电子器件的首选材料，在 5G 无线通信、微纳/集成光子学和人工智能等前沿领域具有巨大应用价值。然而，铌酸锂晶体硬度低、脆性大、各向异性强，大尺寸高品质晶体的制备方法及其高效高质低/无损伤的超精密加工技术是实现铌酸锂晶体器件广泛应用的重要瓶颈。（剩余45901字）

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