面向多晶金刚石的等离子体高效抛光技术

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摘要 作为一种典型的难加工材料，多晶金刚石的抛光存在着材料去除率低、损伤引入较多、难以获得亚纳米级粗糙度等诸多问题。采用一种基于大气电感耦合等离子体的非接触式加工方法，在纯氩等离子体中引入氧气作为反应气，激发产生高活性氧自由基，并在多晶金刚石表面不同位点处发生差异化刻蚀，最终实现多晶金刚石的高效抛光。（剩余19109字）

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