MPCVD 金刚石涂层均匀性生长的数值模拟与实验

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摘要 基于多物理场耦合仿真软件 COMSOL Multiphysics 的微波等离子体模块建立 MPCVD反应腔内氢气等离子体的仿真模型，研究基底外侧增设的环状钼支架与基底的不同高度差Δh 对基底表面等离子体分布的影响。采用变异系数对等离子体分布的均匀性进行定量分析，并用 SEM对金刚石涂层表面的微观形貌进行表征。（剩余13261字）

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