三氯化铁-草酸体系不锈钢化学机械抛光液设计与优化

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摘要 为提高柔性显示衬底不锈钢箔片化学机械抛光加工效率，研制一种三氯化铁-草酸型抛光液并用于304 不锈钢衬底的化学机械抛光加工过程。设计正交优化试验，确定磨粒粒径、磨料含量、草酸含量和三氯化铁含量对材料去除率和表面粗糙度（Sa）的影响显著性顺序，并重点探究三氯化铁和草酸对材料去除率的影响规律。利用优化后的抛光液精抛304 不锈钢，其材料去除率高于560 nm/min，抛光30 min 后Sa 低于8 nm。（剩余1810字）

试读结束

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