基于Bi2O3-B2O3 体系的陶瓷结合剂金刚石砂轮制备及其对单晶硅的磨削性能

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摘要 针对陶瓷结合剂烧结温度高的问题，提出一种基于Bi2O3-B2O3 的新型低温陶瓷结合剂。分析添加纳米SiC 和纳米ZrO2 对结合剂物相组成、流动性和力学性能的影响，并探索添加核桃壳粉造孔剂对金刚石砂轮微观形貌的影响；制备基于Bi2O3-B2O3 体系的陶瓷结合剂金刚石杯形砂轮，测试其对单晶硅晶圆片的磨削性能。（剩余1460字）

试读结束

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