磨料反应特性及绿色络合剂对蓝宝石衬底抛光性能的影响

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摘要： 针对当前传统游离磨料抛光蓝宝石衬底存在的磨粒轨迹不可控、抛光液污染环境等问题，文章基于半固结柔性抛光工具探究了磨料反应活性及不同绿色络合剂对抛光蓝宝石衬底性能的影响。通过水解沉淀法制备了高活性纳米二氧化硅磨料，分别以木糖醇、甘露醇和三异丙醇胺作为络合剂配制绿色环保型抛光液，基于半固结柔性抛光工具进行加工试验。（剩余8723字）

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