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中图分类号：TP241.2文献标志码：A
Structural Design and Vibration Reduction Optimization of SCARA Wafer Transfer Robot Hand*
Li Jiajun1²Zhou Haibo1.²Xu Yunlang1，2†（剩余13638字）
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SCARA型晶圆传输机器手结构设计与减振优化
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