半导体加工设备主动隔振仿真和实验研究

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引言

半导体加工设备作为芯片产业重要的环节，是芯片产业的基石.这些设备的运行精度直接影响着最终产品的质量和性能.在半导体加工设备中，设备本身的机械运动、外部环境的振动或者操作过程中的其他因素产生的振动对设备的性能和精度构成了潜在威胁，因为它们可能导致加工误差、影响设备的稳定性，甚至损坏设备的关键部件（剩余5191字）

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