基于气体电离的MEMS电场传感器设计与研究

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关键词：MEMS；气体电离；工频电场

中图分类号：TM937.1 文献标志码：A 文章编号：1671-0797（2026）06-0035-04

D0l：10.19514/j.cnki.cn32-1628/tm.2026.06.009

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近年来，我国“十四五"规划推进、“双碳"政策落地，电网转型、配电网及新型电力建设提速，电能工业产业链进入高质量发展阶段。（剩余3827字）

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