压力敏感器件智能测试系统的设计
打开文本图片集
关键词：压力敏感器件；传感器；测试系统
中图分类号：TP274；TP212 文献标识码：A
0 引言
压力敏感器件是应用最广泛的传感器之一，常见的压力敏感器件按其原理分类，包括力平衡式、应变式、压阻式、压电式、电容式、电感式、振弦式等[1]，其中压阻式压力敏感器件是最为常用的压力敏感器件。压阻式压力敏感器件的核心元器件为半导体硅材料，通过平面工艺和微机械加工（MEMS）工艺制成，广泛应用于电力、医疗、冶金、石油化、航空航天、武器装备、汽车制造、交通运输等多个领域。（剩余3136字）
