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关键词：偏光片褪色;离子体增强化学气相沉积;氮化硅;射频功率;电极间距;键合氢含量;电压峰峰值 中图分类号：TN27；TB79 文献标识码：A doi：10.37188/CJLCD.2025-0200 CSTR：32172.14.CJLCD.2025-0200
Key influencing fac（剩余17087字）
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偏光片褪色问题中氮化硅薄膜沉积的关键影响因子
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