考虑相移的晶圆自旋转磨削表面纹理动态形成机理
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关键词硅晶圆；磨削；超精密；表面微波纹；相移
中图分类号 TG74;TH162 文献标志码A
文章编号 1006-852X（2025）06-0816-10
DOI码 10.13394/j.cnki.jgszz.2024.0067
收稿日期 2024-04-08修回日期2024-08-18
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