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中图分类号：TH113.1 DOI：10.16579/j.issn.1001.9669.2026.01.011
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随着硅微加工技术的提高，微机电系统得到了快速的发展。而微膜是微机电系统的重要组成构件之一，广泛地应用于各种微传感器、微泵、微换能器等微机电系统的结构中[1-4]，其性能直接影响微机电系统的工作特性。（剩余9678字）
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残余应力对微膜动力学性能的影响研究
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