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一、引言
微机电系统(MEMS)的最大优势是可以利用微电子技术将传感器、执行器和处理电路集成在一起构成单片集成传感器或系统,更可以实现传感器芯片的大规模批量制造,已广泛用于信息、汽车、消费、工控、生物医学、航天航空和国防等领域,并成为国际竞争的战略制高点。
近年来,部分国家正在对我国芯片采取包括代工业务在内的全产业实施限制性举措,传感器作为信息感知的基础芯片,也存在国际供应链断裂的风险。(剩余4608字)
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构建MEMS产业链打通成果转化“最后一公里 ”
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