ZrYN 层厚度对CrN/ZrYN 纳米多层膜微观结构和力学性能的影响

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摘要：采用磁控溅射技术在单晶Si 基片上交替沉积CrN 层、ZrYN 层，制备不同厚度ZrYN 层的CrN/ZrYN 纳米多层膜。利用X 射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、纳米压痕仪表征纳米多层膜的微观结构和力学性能。结果表明：随着ZrYN 层厚度的增大，纳米多层膜中CrN 相的结晶程度呈现出先上升后下降的趋势；纳米多层膜的硬度、弹性模量、韧性也呈现出先增大后减小的趋势；当ZrYN 层厚度为0.9 nm 时，纳米多层膜具有最高的硬度、弹性模量、韧性，分别为20.3 GPa、210.4 GPa、2.25 MPa·m1/2。（剩余11454字）

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