平面漏斗形微腔集成的高性能长波红外探测器

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摘要： 为实现量子阱红外光探测器件对垂直于阱结构的入射光吸收，减小模式体积，降低暗电流，提高比探测率 D*，提高红外光探测器件性能，以 10.55 μm 长波红外光为例，利用等离激元微腔与量子阱材料结合，形成 F-P 共振，增加 GaAs/AlGaAs 量子阱层的吸收率和器件的响应率。设计了平面漏斗形等离激元微腔集成的量子阱红外探测器（quantum well infrared photodetector，QWIP），使用基于有限元数值仿真方法对其进行分析。（剩余9631字）

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