28.3L/min激光尘埃粒子计数传感器的研制

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中图分类号 TP212 文献标识码 A

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激光尘埃粒子计数传感器能够准确检测空气中尘埃微粒的粒径和数量，已广泛应用于半导体、电子、食品和制药等行业[1-2.该类传感器的光源经历了从白光到半导体激光二极管的发展过程，探测器也由光电倍增管逐步改进为光电二极管.这些技术进步显著提高了传感器的性能，（剩余10154字）

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