不同薄膜干燥机在氯硅烷浆料处理中的应用对比研究

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摘要：文章从经济性及设备可靠性方面考虑多晶硅生产过程中冷氢化工艺副产物氯硅烷浆料的处理问题，通过总结目前行业内采用较多的浆料处理方法和使用的核心干燥设备，对比分析几种工艺处理方法及选用的干燥机形式，得出结论：使用干燥水解法结合薄膜干燥机的方式能有效回收浆料中的氯硅烷，提高氯硅烷的回收率，降低氯硅烷浆料处理成本和企业环保投入成本。（剩余4989字）

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