焊点尺度对微互连的热疲劳可靠性影响

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摘 要:【目的】研究焊点尺度对微互连的热疲劳可靠性的影响,【方法】采用有限元模拟法结合试验来研究不同尺度焊点在热循环载荷下的可靠性。【结果】模拟结果表明,同位置小尺寸焊点封装体的位移和焊点的累积塑性应变能密度均高于大尺度焊点,且最外侧焊点的数值最高,为最容易失效的关键焊点。关键焊点上累积的塑性应变能密度集中在焊盘和钎料接触界面的边角处,向内会逐渐减小,表明裂缝会在边角处出现并向内延伸,与试验结果吻合。(剩余4661字)

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