小像元InSb红外焦平面器件光电性能仿真

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摘要：小像元是InSb红外焦平面器件制备的发展方向之一，但其会对器件的光电流响应和串音产生很大影响。因此使用Sentaurus TCAD 软件建立了小像元InSb红外焦平面阵列器件的台面结器件模型、平面结器件模型和外延结构器件模型，采用背照射的3个像素单元的InSb阵列器件仿真了3种器件结构的光电流响应和串音。（剩余10229字）

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