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文章编号1000-5269（2024）06-0014-05
DOI：10.15958/j.cnki.gdxbzrb.2024.06.03
摘要：近年来，对AlN材料的研究热度居高不下，对AlN材料的制备日益成熟，但是对掺杂的研究大多数是理论方面，而有效地掺杂是制备器件的前提之一。本文采用高温热扩散的方式对超宽禁带材料AlN进行N型掺杂实验研究。（剩余9109字）
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硅掺杂对AlN材料的影响研究
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